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国家知识产权局信息数据显现,江苏容道社半导体设备科技有限公司获得一项名为“一种涂胶显影机用晶圆吸附设备”的专利,授权公告号CN223786495U,请求日期为2024年12月。
专利摘要显现,本实用新型公开了一种涂胶显影机用晶圆吸附设备,触及显影机设备范畴,包含旋转底座,设于所述旋转底座顶部一侧的圆吊板,吊设于所述圆吊板下方的环形设备板,环形矩阵式设于所述环形设备板下方的多个吸附部件,设于所述环形设备板外侧的数个三级铰接板,设于所述三级铰接板外侧的翻转部件,设于所述三级铰接板内侧的纠正部件;本实用新型是一种非触摸式的,能防备吸附时晶圆坠落,在吸附过程中可以坚持晶圆方位不偏移的涂胶显影机用晶圆吸附设备。
天眼查资料显现,江苏容道社半导体设备科技有限公司,成立于2023年,坐落苏州市,是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。经过天眼查大数据分析,江苏容道社半导体设备科技有限公司参加招投标项目2次,专利信息13条,此外企业还具有行政许可2个。
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